二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375121 待售

VEECO TurboDisc K465i Nitrium Nitride（GaN）反应器是一种微波装置，设计用于氮化物复合半导体材料的外延生长。设备配备了两个K465i的GaN反应堆，使其成为一个强大可靠的两室生产工具。K465i反应堆将基于速调管的最先进的微波技术与先进的计算机控制和监测相结合。通过这种组合，能够提供高精度的微波配电、监测和控制，从而在晶圆上产生最佳均匀性，促进低温。K465i反应器还具有可控的底物温度范围-10°C至+450°C和加热石英管,从而无需侧壁加热线圈。由于可变聚焦、均匀腔辐射模式和线性可变场分布，该K465i能够在大基板尺寸上均匀生长。V形腔设计提供广角覆盖，使整个外延层的均匀性得到改善，而数字控制系统实现了更好的滤波器控制。先进基板加热装置（ASHS）允许精确的热预算控制，而无需惰性气体排放，因为晶圆在无氧环境中加热。ASHS还提供完整的数字温度控制、更精确的基板温度测量以及自动调整,以确保获得最佳效果。其他功能还包括先进的锁定机,它允许各种配置具有全面的灵活性,以及非接触式电气互锁插针,以防止异物意外进入。K465i GaN反应堆还配备了微波功率监测系统，以确保有效的微波传输和精确的功率耦合。此外，该接收器还具有真空感应端口，能够实时监控和极高的绝对压力精度。VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN反应堆是生产高质量外延晶片的可靠而有力的工具。提供优化的均匀性、精确的温度控制、优异的基板加热和先进的数字控制系统。这些特性使得它成为任何复合半导体外延工程的理想选择。