二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375123 待售

VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN（氮化超）反应堆是一种先进的外延设备，设计用于处理各种先进的微电子材料。该反应堆利用均匀的层沉积技术，生产出多种复杂而精确的器件，如SMART-MEMS、电力电子、LED和其他光电元件。VEECO TurboDisc K465i GaN是一种高温外延反应器，配置用于沉积具有优越结构和电气性能的大范围外膜和复合材料。该系统采用了可调节的温度曲线以最大限度地提高均匀度,并采用了温度和压力传感器来增强过程监测和控制。该单元提供精密、可重复、高通量性能的优越晶体品质产品，最高可达200毫米/分钟。它还能够与广泛的前体一起操作，包括硅烷、有机金属源、氢化物以及其他氮和III类化合物。为便于高效操作和精确控制，该机配备了两台用于GaN沉积的独立射频发生器以及蚀刻和沉积室。该工具还具有先进的气体输送资产、精密泵送技术和用于精确气体输送的涡轮分子泵。此外,该模型与行业标准的设计工具兼容,以方便设备设计和信号分析。此外,该设备还采用自适应背侧压力（ABP）技术,提高了薄膜的均匀性.ABP允许快速和不间断的晶片处理,以减少总循环时间,并最大限度地减少前体和气体消耗,从而节省运营成本。结合先进的安全功能,EMCORE TurboDisc K465i GaN专为有效的操作和性能而设计。利用多种故障安全方法和用户警报功能,系统始终致力于确保操作过程中的安全。总体而言，TurboDisc K465i GaN反应堆是一种先进的外延装置，其设计最精确、最有效地生产出各种复杂、精确的微电子结构。具有卓越的晶体品质、可调节的温度轮廓和适应性的背侧压力，这台机器是打造极其精确和专业的结构的理想选择。