二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375128 待售

VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN是一种将先进GaN功率半导体材料的外延生长效率和能力相结合的反应堆。对于传统的SiC和GaN工艺,K465i的底物尺寸可达8英寸,高效可靠。该设备利用最先进的DirectView Optics和自动化机器人，通过单面或双面化学气相沉积（CVD）工艺产生卓越的材料利用率。该K465i采用坚固耐用的垂直多区CS-II高温炉，采用冷墙技术，精度和多功能性最高。高效的加热/冷却操作可以稳定两层,并实现多层处理。高级控制器设计用于调节温度或压力,以及确保每个单独层的准确目标值。该K465i还具有详细的过程控制界面（PCI）,可让用户访问计算机辅助设计（CAD）程序中的自定义配方。此访问允许快速的系统调试和初始性能表征,同时还可以用于编程流程参数和其他设置,例如单元压力。该单元还配备了一个快门，便于单晶片或双晶片配置的晶片交换。该设备设计用于生产,具有业界领先的可靠性和鲁棒性,同时还提供了出色的可重复性和当前均匀性。再者，K465i支持先进结构的开发，如3D、异质结构和高导电通道。该K465i利用强化的安全系统，并得到长期服务合同的支持，包括预防性维护服务，以确保机器得到积极维护，并在较长时间内表现最佳。凭借这些先进的功能和支持,VEECO TurboDisc K465i GaN是希望生产卓越外延GaN材料和结构的组织的完美解决方桉。