二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375129 待售

VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN是为生产高品质薄膜而设计的高性能等离子体反应器。该反应器能够在可再现的过程中在大面积上沉积高质量、高温均匀的薄膜。TurboDisc利用先进的电源产生直流或脉冲供电的等离子体。该等离子体被送入一个独特且高度均匀的热反应圆盘（TRD）源，从而可以更好地控制等离子体特性。反应堆的设计目的是在高达20平方厘米的面积上保持一致的功率输出，从而最大限度地减少薄膜的不均匀性。TurboDisc的高性能特性意味着它可以处理等离子体增强化学气相沉积（PECVD）和低温沉积（LTD/ALD）中使用的任意数量的气体。也可用于在沉积过程中引入多种掺杂剂或催化剂，从而实现过程控制。反应堆装有非常精确的温度控制和均匀系统。这样就可以在大面积上实现精确和可重现的薄膜沉积，并具有出色的热均匀性。温度传感器内置在传感元件中，提供准确和实时的过程读数。TurboDisc还有一个嵌入式控制系统，允许完全集成和过程控制。它可以用广泛的参数进行编程,以便自动、可重复地生产胶片。精确测量和控制关键工艺参数的能力保证了薄膜的质量和一致性。TurboDisc还配备了先进的安全功能，确保严格的安全标准，并确保可重复、统一、优质的输出。这使得反应堆能够在任何生产环境中安全、一致地运行。总体而言,VEECO TurboDisc K465i GaN是一种功能强大且可靠的反应堆,可提供增强的过程控制、统一的温度控制和可靠的过程再现性。它旨在提供具有可重复产量的高质量、均匀的薄膜。坚固可靠的设计确保了安全高效的沉积过程。