二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375131 待售

VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN反应器是一种高温化学气相沉积（HTCVD）工具，设计用于制造基于氮化的化合物半导体器件。该K465i将两个高功率、恒流反应性气体模块与一组高级控件结合在一起，提供了一个复杂而健壮的CVD环境。该K465i是一个全金属、全气体反应模块，在底物表面具有均匀的温度分布。利用其专有的气体流动输送系统，K465i能够精确控制反应性气体在整个腔室中的分布，同时保持均匀的温度。这种流动模式的动态控制确保了均匀的反应环境，这对于生产高质量的GaN晶体至关重要。该K465i设计为高度可靠和高效,具有快速冷却和启动时间。它利用自动室内清洁系统，通过尽量减少手动清洁的需要来减少停机时间。这与寿命长的阴极相结合，降低了维护成本，提高了工艺稳定性。该K465i具有广泛的工艺控制功能,适合研究和生产各种新一代设备。利用高精度质量流控制器（MFC）技术,用户可以精确设置工艺参数,从而创建多种GaN结构。该K465i还支持使用多步骤流程，从而进一步提高其准确性和可变性。K465i是生产VCSEL、激光器、LED和其他需要最高性能和准确性的设备的理想选择。其先进的特性允许均匀沉积，并能够精确控制设备的表面轮廓和电学/光学性能。凭借其强大而高效的设计,K465i提供了无与伦比的性能和易用性,使其成为高质量GaN晶体沉积的绝佳选择。