二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9409670 待售
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VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN是一种高性能的MOCVD（金属有机化学气相沉积）反应器，专门为氮化氙（GaN）层的沉积而设计。这是开发先进的基于GaN的光电器件如激光器、异质结双极晶体管（HBT）和其他电子器件的理想工具。该设备采用强大的激光和腔室设计，以确保生产高产大直径晶片的可靠均匀性。VEECO TurboDisc K465i GaN反应器具有一个快速旋转的机电快门，用于基板保护，允许快速晶圆电池和快速晶圆变化。这与快速清除和下泵操作相结合,以提高处理速度和吞吐量。此外，反应堆有气体溷合包和专门的气体控制系统，用于精确气体输送。这样可以灵活地优化反应堆压力、温度和气体流速等工艺参数。EMCORE TurboDisc K465i GaN反应堆装有先进的机器人基板处理和换挡装置。其特点是占地面积小，运行速度快，晶圆装载机大小。此外,该机器还具有可定制且直观的GUI（图形用户界面）,便于操作和配方格式。TurboDisc K465i GaN反应堆具有高效的涡轮分子泵，可减少泵送时间，提供卓越的真空稳定性和更长的泵送寿命。它还配备了快速直接冷却工具，可以安装在反应堆室的两侧。这种冷却资产可以帮助用户即使在苛刻的操作条件下也能保持腔室冷却。此外，快速冷却模型还可用于热退火和晶片粘合。VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN反应堆针对长期均匀性和高产率运行进行了优化，底物均匀性好，缺陷密度低，生产产量好。总之，VEECO TurboDisc K465i GaN反应堆是生产高性能基于GaN的光电器件的一种高度先进、可靠的设备，可实现可靠和可重复的结果。
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