二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i #293586463 待售
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VEECO/EMCORE TurboDisc K465i反应器是一种先进的化学气相沉积(CVD)设备,旨在促进高产复杂结构的快速可靠制造。该系统旨在以经济高效的方式提供高精度的单晶层材料。该装置具有优异的热性能和更好的均匀性,具有较大的腔室体积和最多四个用于坚固沉积的源。它配备了四个独立的气体面板,允许多源、多层沉积过程,每个气体面板都有独特的工艺响应设置。高性能、全自动控制器允许对流程参数和配方设置进行编程,以实现流程的自动化和控制。VEECO TurboDisc K465i具有极好的均匀性,具有广泛的来源选择和最多四个独立的沉积来源。它具有运行间有0.5%的过程重复性、优良的粒径和形态控制以及+/-5C以上的温度均匀性。由于腔室体积大,沉积/蚀刻速度快,它还提供了高通量的工艺。EMCORE TurboDisc K465i的动力是由革命性的电源设计提供的,它结合了高功率效率和精确的能量控制。它提供了高功率密度和低热电阻的完美组合,非常适合广泛的应用。TurboDisc K465i旨在提供高质量的控制、可靠性和可重复性,有助于确保可靠的生产。这台机器是完全自动化的,能够进行多气体和多层沉积过程。它是研究、开发和生产应用的理想选择。VEECO/EMCORE TurboDisc K465i是任何先进材料研究和沉积过程中必不可少的工具。它旨在以一致的产量提供可靠和可重复的结果,并为经济高效的流程提供前所未有的功能。
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