二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K475 As/P #9358482 待售

VEECO TurboDisc K475 As/P等离子体反应堆是半导体研究和生产的先进工具。它旨在在非视线条件下创造出超高质量的等离子体工艺。这座反应堆提供了紧凑的设计、灵活的配置和高质量的生产工艺。反应堆装有TurboDisc等离子体源，具有不对称偏置磁场，用于增强对等离子体的控制。此高级源使用户能够产生超光滑的表面以及增强的等离子体控制。它还具有针对生产级工艺条件的超快速调整功能。K475 As/P上的高级工艺室设计为提供稳定的处理环境。它配备了包括RF、磁控管、平面、网格等多种多样的电极。此外，腔室还包括多区域配置，允许在不同的加工条件下加工多种基板。K475 As/P还具有先进的控制系统,提供精确的设置和仪表。利用内置的可编程控制器，用户可以创建、存储和检索多个条件和配方。该系统还允许轻松设置流程参数,使客户能够优化流程结果。EMCORE TurboDisc K475 As/P等离子体反应器具有生产水平的吞吐量和产量。它还符合一些健康和安全标准，包括SEMI S2和ISO 9001。凭借其先进的设计、优质的等离子体加工条件和稳健的控制系统，这种等离子体反应堆是半导体研究和生产的绝佳选择。