二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K475 As/P #9375083 待售

VEECO TurboDisc K475 As/P是一种先进的用于制造薄结晶膜的高速度外延反应器。该反应堆利用感应耦合等离子体（ICP）源和两轴和四卡盘级相结合的同时作用，提供独特的设备性能和灵活性。该室采用三法兰设计，以提高抽水效率，并采用独特的陶瓷底座，以减少热梯度和不均匀射频载荷的影响，从而提高均匀性。ICP的涡轮增压功率可实现高达10nm/min的持续超高沉积速率,确保可重复的薄膜厚度和高沉积均匀性。两轴腔允许大面积均匀性与快速晶圆到晶圆交换时间。四卡盘多站工艺可以在保持均匀性的同时生产大基板面积。K475 As/P具有高效的晶圆冷却和热隔离功能,可通过策略上间隔的工艺垫片和隔离吊舱来最大程度地减少漂移并实现稳定的热性能。该系统还采用高端半自动物料处理系统进行设计,可提高吞吐量和易于操作,同时提供更清洁的环境。该设备采用触摸屏界面实现了完全计算机化，便于监控、控制和配方维护。它提供了实时流程反馈、数据记录和图形程序的独特组合,以提高产量性能。它还包括Cat-CVDTM、BoostTM、ALD、MOCVD、PCR和PECVD等先进工艺，使得高质量薄膜的制造成为可能。此外,该机器还包括远程访问维护和校准,包括零件疲劳的自我诊断、启动延迟时间等等。通过所有这些功能,K475 As/P为各种具有挑战性的半导体应用提供了可靠高效的制造解决方桉。