二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K475 #9372880 待售
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VEECO/EMCORE TurboDisc K475是为复合半导体材料外延而设计的反应堆。它由一个可旋转的圆盘驱动，用来移动底物通过反应堆。高精度的X-Y级允许基板在两个平面中进行精确和可重复的运动以进行受控沉积。反应堆的来源到基板距离可达5mm，最大基板直径为20英寸。该工艺室设计为用防扩散设备密封，以确保反应堆的清洁度。室内的加热元件为基板表面和沉积提供了一致的温度。该系统采用先进的两源供应系统，内部气体歧管装置旨在通过三个独立的进料条永久储存、管理和输送多达四种气体。加热机允许可编程的温度条件和均匀的温度控制，为生长过程中的可靠结果提供了高度的精度。反应堆还设计方便，低维护操作。它具有直观的触摸屏界面，用于连接计算机和访问实时机器控制操作。该接口包括内置的安全功能，如自动关闭和报警系统。最后，采用各种传感器来监测整个过程中的各种参数。这些传感器可用于检测和管理沉积速率、气体流量、腔室温度、基板温度、过程真空和气体组成。总体而言，VEECO TurboDisc K475是为各种复合半导体材料外延而设计的先进反应堆。其高精度的阶段、源到基板的距离、温度控制、双源供应和先进的安全特性，确保了一个可重复和可靠的过程，低需要维护。
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