二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K475i As/P #9231840 待售

VEECO TurboDisc K475i As/P反应堆是一种在半导体和光电应用中提供高质量、多用途沉积性能的中型动力装置。它是一个四区石英船反应堆，能够实现精密的高速率沉积。该反应器针对Si、SiC、Ge、GaAs、AlN、GaN等材料的沉积以及光学涂层应用进行了优化。反应堆配有先进的有源电源，允许用户将源功率从每区10瓦到450瓦不等，允许材料高速率沉积到各种基板上。此外,K475i As/P还利用脉冲电源提供高达100 kHz频率的脉冲,以实现高重复率沉积。而且，该机组还能进行快速热退火。该反应堆还具有两个独立的气体控制系统，能够对过程气体进行精确的流量控制。这可以让使用者独立控制製程室压力，以及沉积气体的数量。此外，K475i还具有整体主动冷却布置，有助于保持基板温度，保持沉积过程的完整性。整体温度控制也有助于降低尖端高速应用过程中的温度。此外，可伸缩快门系统提供了对沉积速率和角度的动态控制。加速器磁场是完全可调的，可以编程，以确保针对特定应用优化的系统性能。此外，K475i还有一个综合的综合诊断系统，包括测量射频功率、谐振器电压、频率和温度的能力。结合这些特点,使K475i成为一种强大可靠的材料沉积装置.