二手 VEECO / EMCORE TurboDisc MaxBright #293667120 待售

VEECO/EMCORE TurboDisc MaxBright反应器是一种功能强大的半导体加工工具，设计用于在短时间内在大面积上高效沉积薄膜和纳米结构。它是第一个商用的快、宽、薄膜沉积系统，采用先进的三盘腔设计，以最大限度地提高吞吐量和性能。TurboDisc依靠电子束（EB）蒸发技术将材料沉积在双面3D保形覆盖的晶片或基板上。EB枪在高射频下运行，以旋转轨道变化的多个电子束，以达到基板上所需的目标。其结果是比传统的单源沉积方法沉积速度更快，使得底物的缺陷和损伤明显减少。该室采用整洁、模块化的设计，便于维修和重新配置。它有一个13英寸的基板级，可以适应任何超过130个晶片的模式，以每分钟30个晶片的速度在一个周期内进行处理。该系统还具有宽面积沉积的12.7"基底至淋浴头距离，以及15.75"的工艺室高度，使沉积能够在广泛的批量生产吞吐量和最大的工艺灵活性中发生。TurboDisc具有高分辨率显示器和用户友好的图形用户界面（GUI）,具有多种过程控制选项,如双带和多层沉积。它还具有高速算法控制和配方管理，用于跟踪多个作业和配方。该软件还允许远程管理系统和监控流程参数。TurboDisc采用了最新的硬件技术，是业界生产大批量薄膜和纳米结构的最先进的反应堆。它旨在提高吞吐量并最大限度地减少材料损失,从而确保在许多大面积沉积应用中,每晶圆的产量最高,投资回报率最高。