二手 VEECO Fiji G2 #293794622 待售

製造商
VEECO
模型
Fiji G2
ID: 293794622
优质的: 2021
Atomic Layer Deposition (ALD) system Substrate size: Up to 200 mm Cooler Single chamber Ozone generator Cooling system for process chamber Dry vacuum pump with filters Loadlock Glove box Heat source Process chambers for 2D and 3D elements Liquid sources: H2O, TMA, DEZ, TiCl4 Gas lines: O2, H2 Toxic gas lines: SiH4, NH2, H2S Temperature: 300°C Substrate temperature: 500°C 200mm Substrate heater standard 800°C 100mm Substrate heater optional Deposition uniformity: 1σ Uniformities Thermal AI203-1.5% Plasma AI203-1.5% Gases: Gas / Size Ar / 100 SCCM Ar / 200 SCCM N2 / 100 SCCM O2 / 100 SCCM H2 / 100 SCCM PC Operating system: Windows 7 Power supply: 220-240 VAC, 4200 W 2021 vintage.
VEECO斐济G2是一种先进的薄膜沉积设备,专门为半导体、电子、光学等领域的研发应用而设计。这种反应堆是一种最先进的工具,能够精确控制沉积过程,使研究人员能够制造出具有非凡均匀性和重复性的高质量薄膜。斐济G2系统的核心是其先进的气体输送装置,可以精确控制沉积过程。反应堆配有多个气源,每个气源都可以独立控制,根据所需薄膜的具体要求量身定制沉积条件。这种灵活性使研究人员能够沉积各种材料,包括氧化物、氮化物和金属,其成分和性质各不相同。斐济VEECO G2具有高温沉积室,可达到1000°C的温度,允许沉积复杂薄膜结构,并使外延层生长。机器还配备了精确的温度控制工具,确保基板的均匀加热,从而产生高度均匀且无缺陷的薄膜。斐济G2反应堆的关键优势之一是它在处理各种基材尺寸和类型方面的多功能性。该资产与直径最大6英寸的基板兼容,包括硅片、玻璃和其他薄膜研究常用的材料。反应堆还配备了锁载室,可以快速高效的底物装卸,最大限度地减少停机时间,最大限度地提高生产率。除了先进的气体输送和温度控制能力外,VEECO斐济G2还具有用于等离子体增强沉积过程的综合射频等离子体源。等离子体源可以轻松调谐,提供所需的离子能量和通量,使研究人员能够优化薄膜生长条件,以提高薄膜质量和附着力。斐济G2配备了先进的控制模型,可以实时监测和调整沉积参数。研究人员可以使用直观的软件界面轻松编程复杂的沉积配方,从而能够精确控制薄膜厚度、成分和结构。该设备还具有全面的数据记录和分析工具,使研究人员能够跟踪沉积过程并分析沉积膜的质量。总体而言,VEECO斐济G2反应堆是薄膜研究和开发的有力工具,对沉积过程提供了无与伦比的控制,使高质量的薄膜能够生长,具有非凡的均匀性和可重复性。其先进的功能和多功能性使其成为从事半导体、电子和光学领域研究人员的理想选择,在这些领域,精确控制薄膜性能对于实现所需的设备性能至关重要。
还没有评论