二手 VEECO MaxBright #293650486 待售
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VEECO MaxBright是VEECO Instruments Inc制造的一系列等离子体化学气相沉积（PECVD）反应堆中最新的一种。MaxBright Reactor设计用于生产更均匀、质量更高、成本效益更高的薄膜涂层，可以广泛应用。VEECO MaxBright Reactor使用射频等离子体发生器为涂层应用创造最佳环境。它采用创新的双向设计，结合负离子和正离子，产生最高水平的等离子体密度和均匀性。反应堆先进的气体输送系统提供对初级气体和次级气体的精确控制，允许对过程进行微调，以提供优越的效果。反应器室由高级不锈钢制造，配有耐火衬里的内部射频线圈，有助于确保涂层工艺的最大可重复性和均匀性。几个专利的特点使得高均匀覆盖和优秀的光学、电气和热性能生产的薄膜。腔室还配备了板载质量流控制器，用于精确测量压力、流量、温度等工艺参数。MaxBright Reactor通过自动化基板处理、板载工艺参数控制以及对基板多种特性的实时监控等先进技术提供最大的生产力和性能。先进的控制系统提供了对工艺参数的精确控制和系统的稳健运行，确保了涂层工艺的最大均匀性和可重复性。使用高级诊断程序还可以在更短的时间内对流程进行故障排除。综上所述，VEECO MaxBright Reactor提供了一种可靠、高性能的工具，生产出厚度均匀、性能控制良好、涂层优越的薄膜。MaxBright Reactor凭借其创新技术和先进的诊断技术，非常适合于光伏电池和显示器等一系列行业的应用，以及一般的薄膜沉积。
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