二手 VEECO Propel #293822786 待售
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ID: 293822786
晶圆大小: 12"
优质的: 2020
Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) system, 12", GaN
Equipment Front End Module (EFEM)
2020 vintage.
VEECO Propel是由先进薄膜工艺设备的领先供应商VEECO Instruments Inc.开发的一种尖端化学气相沉积(CVD)反应器设备。推进反应堆是专门为生产用于制造动力器件、高亮度LED、RF器件的优质氮化氙(GaN)等先进半导体材料而设计的。VEECO Propel反应堆的核心是其先进的热处理技术,它能够精确控制半导体材料的生长过程。反应堆具有高温高压环境,便于沉积具有非凡均匀性和纯度的薄膜。这种控制水平对于实现先进半导体器件所需的材料特性和性能特性至关重要。Propel反应堆的关键创新之一是其专有的气体输送和排气系统,这确保了向反应室精确有效地输送过程气体。该单元允许对生长参数进行优化,如气体流量、温度和压力,以达到一致和可重现的结果。反应堆还配备了先进的过程监测和控制能力,包括实时气体分析和温度剖析,以进一步增强沉积过程的控制和稳定性。VEECO Propel反应堆专为高通量生产而设计,具有较大的沉积面积和多用途的底物处理能力。该机可容纳广泛的基材尺寸和形状,允许薄膜沉积在小型研究样品和大型生产晶片上。反应堆还采用模块化设计,便于定制和可扩展性,以满足特定的工艺要求和生产量。除了先进的技术能力外,Propel反应堆还设计了用户友好的功能,可以提高运行效率和易用性。该工具配备了一个用户友好界面,可用于直观的过程控制和监控,以及自动维护和清洁例程,以最大程度地减少停机时间并最大限度地提高生产率。反应堆还包括安全特性和内置诊断,以确保生产环境中的可靠和安全运行。总体而言,VEECO Propel反应堆代表了在生产环境中沉积高质量半导体材料的最先进的解决方桉。其先进的热处理技术、精确的气体输送资产和用户友好的设计,使其成为寻求开发和生产性能和可靠性卓越的先进半导体器件的制造商和研究人员的理想选择。通过利用Propel反应堆的能力,用户可以加快推动广泛行业创新的下一代半导体技术的开发和商业化。
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