二手 VLSI STANDARDS INC PDS-100 #9199485 待售

ID: 9199485
Particle deposition system.
VLSI STANDARDS INC.VLSI STANDARDS INC PDS-100是一种紧凑轻型反应堆,用于半导体工业。它是为生产超纯半导体级化学品而设计的连续流动、连续搅拌罐反应堆(CSTR)。PDS-100的工作温度范围为-40°C至340°C;使其适合各种化学过程。它采用三轴6轴运动控制器设计,用于精确运动控制和同时操作。还配备了10升反应容器和4升阳极罐。最大反应压力为700 kPa,最小为10 kPa。VLSI STANDARDS INC PDS-100使用直接浸入式加热设备进行精确的温度控制和精确的加热。该系统由PID控制器控制,并通过电源阀进行调节。变频驱动(VFD)用于提供正反应压力所需的扭矩。PDS-100在整个反应堆产生均匀的温度分布,适合敏感过程。VLSI STANDARDS INC PDS-100具有集成的清除单元。这台机器用于创造一个无氧环境,帮助防止氧化和其他有害反应,使反应器适合超灵敏过程。净化工具由PID控制器控制,并通过氧合阀调节。该资产可用于在10分钟内清除所有气态杂质的反应容器。PDS-100还具有坚固的结构材料,适合腐蚀性和危险的应用。反应堆部件由耐腐蚀钢和陶瓷材料构成。这些材料极好地抵抗极端温度和压力。VLSI STANDARDS INC PDS-100设计用于半导体行业,满足所有半导体制造安全要求。反应堆设有两个紧急停止开关,以确保运行安全。整个模型设计为远程操作,无需实验室人员在操作过程中在场。此外,该反应堆已按照符合ISO 9000标准的质量保证标准进行了测试。总体而言,VLSI STANDARDS INC.PDS-100反应堆是生产超纯半导体级化学品的先进、通用和可靠的解决方桉。它提供精确的温度和压力控制、用于敏感过程的无氧净化设备以及用于危险应用的坚固建筑材料。
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