二手 WATKINS JOHNSON WJ-TEOS999 #293831160 待售
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ID: 293831160
CVD System, 6"
Type: APCVD (USG / PSG / BPSG)
Ozone generation: SUMITOMO with (4) Cells
(3) Injectors: IVA's with Monoblock
(3) Canisters: TEOS, TMB, TMP
CSR
(9) Bubblers
Belt cleaning: HF Bubbler
Temperature: 500°C
Cooling system: Water
Throttle valve: MKS with controller
Toroidal orifices: 6 x 3" with spring
Belt: Inconel
(25) Slot case
(4) Cassette
Wafer detecting
Controller: Pentium (2) PC
Gas controller: 3.89
Temp controller: 2.57
Handler: 4.47
PLC: 1.36
Gas configuration:
- / Injector#1 / Injector#2 / Injector#3
O2/O3 / MFC O2 15 SLM / MFC O2 15 SLM / MFC O2 15 SLM
D1N2 / MFC N2 6 SLM / MFC N2 6 SLM / MFC N2 6 SLM
SPN2 / MFC N2 20 SLM / MFC N2 20 SLM / MFC N2 20 SLM
D2N2 / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM
SIH4 / MFC N2 150 SCCM / MFC N2 150 SCCM / MFC N2 150 SCCM
PH3 / MFC N2 400 SCCM / MFC N2 400 SCCM / MFC N2 400 SCCM
B2H6 / MFC N2 300 SCCM / MFC N2 300 SCCM / MFC N2 300 SCCM
DILL N2 / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM
TEOS / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM / MFC N2 1.5 SLM
TMP / MFC N2 500 SCCM / MFC N2 500 SCCM / MFC N2 150 SCCM
TMB / MFC N2 100 SCCM / MFC N2 100 SCCM / MFC N2 50 SCCM
Power supply: 208 VAC, 3 Phase.
WATKINS JOHNSON WJ-TEOS999是一种为商业应用而设计的高温惰性气冷核反应堆。它是一个固体燃料反应堆，压力容器由不锈钢和碳钢制成，并设计为使用th燃料。Th是一种略带放射性的元素，可以在核反应堆中用作燃料。与传统的铀基燃料相比，它具有丰富、成本低、长期放射性副产品少的优点。比铀具有更高的能量含量，并且比传统燃料每单位质量产生更多的能量。WATKINS JOHNSON WJ TEOS 999反应堆是一座高温石墨缓化热中子反应堆。在这类反应堆中，石墨减速器围绕着燃料，增加了燃料释放出的热中子数量。这增加了裂变反应产生反应堆能量的机会。反应堆在900摄氏度以上运行，并被氦气冷却。反应堆结合了几个安全特性，以确保安全运行。这些包括双安全壳容器、中子吸收器和倒水棒。双安全壳容器使得不可能将放射性释放到环境中。中子吸收器和倒水棒允许在出现问题时控制裂变反应和紧急关闭。WJ-TEOS 999是一个可靠且具有成本效益的反应堆，已经在几个发电厂中使用。该反应堆已获得国际原子能机构（原子能机构）的安全认证。未来有望继续成为核电产业的重要组成部分。
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