二手 ADE / KLA / TENCOR 8100 #9187693 待售
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已售出
ID: 9187693
晶圆大小: 4"-6"
优质的: 1986
Microscan system, 4"-6"
2 in / 4 out
Alignment station
Flatness station
High res station
ASC Controller
Accessories included
Sender elevators:
One/two senders
Deliver wafers from cassettes to the main transport belt
Prealigner:
Centers wafers on vacuum chuck
Aligns them with reference to primary flat/notch
Determines locations of up to four secondary flats
Flatness station:
Measures operator-specified portion of wafer surface
Calculates minimum, maximum, centerpoint, and average thickness
(MINTHK, MAXTHK, CTRTHK, AVETHK)
Thickness variation (TTV)
Focal plane deviation (FPD)
Total Indicator reading (TIR)
Total Indicator reading at localized areas (SITE TIR)
Percent usable area based on thickness
(THICK PUA), FPD (FPD PUA) and SITE TIR (SITE TIR PUA) sem I conductor type
Resistivity station:
Measures resistivity at one user-programmed point on the wafer surface
Receiver elevators:
One - four receivers
Transport wafers
Main transport belts to cassettes
1986 vintage.
ADE/KLA/TENCOR 8100是一款先进的固态扫描电子显微镜（SSEM），旨在为用户提供各种科学和工业应用中的显着成像优势。ADE 8100具有独特的技术,包括使用聚焦电子束探测的多模式发生器,以最小的样品漂移和失真获取多个图像,从而以最小的伪影实现精确成像。KLA 8100由一个集成的控制系统驱动，包括一个高精度扫描显微镜和一个集成的数字信号处理器和放大器。该系统可实现无与伦比的成像精度和扫描吞吐量。此外,精确的运动阶段和执行器使TENCOR 8100在扫描操作中达到高分辨率.为提高成像质量，8100配备了可减少抖动和噪声的高频输入，以及全面的自动对准能力，以提高样品精度。在运动控制方面,ADE/KLA/TENCOR 8100具有先进的快速扫描电机和全方位控制功能,可实现平滑、精确的扫描。其成像软件旨在提供高标准成像质量的任意放大。此外,ADE 8100还具有一个自动化的样品表征套件,使研究人员能够轻松测量物理、电气和其他材料特性。它的用户友好界面使研究人员能够远程工作，并通过互联网浏览器查看样本数据。KLA 8100还拥有全面的分析机会,具有3D图像重建和检测性分析等功能。综上所述,TENCOR 8100是一款功能强大的SSEM,旨在处理严格的数据分析和成像。其集成的控制系统、运动阶段、成像软件和自动表征套件使其成为一系列工业和科学应用的理想选择。
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