二手 AMAT / APPLIED MATERIALS VeritySEM #9280532 待售
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ID: 9280532
晶圆大小: 8"
Automated CD metrology system, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer cassette: PP Miraial, 12"
No SMIF Interface
Electron optical system:
Electron gun SCHOTTKY emission source (FEI)
Accelerating voltage: 300 V - 2000 V
Prober current: Low 5pA / Medium 10pA / High 20pA
3-Stage Electromagnetic lenses
System with boosting voltage beam deflector module
Objective lens:
Scan coil 2-stages: Electromagnetic deflection (X-axis & Y-axis)
Magnification: 1,000x - 400,000x (100um - 0.25um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Aspect ratio: >20:1
Resolution: 2nm (500V)
Optical microscope system:
Camera monochrome: CCD Camera
Magnification: 16x / 220x (450 um / 6000 um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 12"
Model SGI Fuel
SECS / GEM Communication interface:
Automated image archiving function / Online setup
Measurement function: Contact hole
Line edge analysis / CH Analysis / Slope
Measurement algorithm normal / Foot / Threshold
Wafer stage:
Wafer stage Anorad XY and Z Stage
Moving speed: 300 mm/sec
Function target faraday cup / Resolution target
Wafer transfer:
Wafer shape ability notch / Orientation flat
Pre-alignment sensing by CCD BAR (200/300 mm wafer)
External power distribution unit
Fun filter unit.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeritySEM是一种扫描电子显微镜（SEM）,为半导体行业的高级故障分析和工艺开发提供卓越的成像能力和精确控制。这种用途广泛的设备为用户提供了从高分辨率成像到光谱分析的一整套高级功能,同时为一致、准确的成像结果提供了一个稳定可靠的平台。AMAT VeritySEM是一个可变压力SEM系统，提供超高真空和低真空成像能力。其低真空模式允许在0.1-50 torr的广泛压力范围内进行表面成像和分析，包括在惰性气体下进行全程成像，以防止样品充电。该装置还采用了快速真空阀控制技术，确保了样品室的快速可靠的清洗和调节。这种真空技术结合了对成像模式和条件的精确控制，使用户能够获得对难以成像的样本一致、准确的成像结果。除了先进的成像能力外，APPLIED MATERIALS VeritySEM还提供先进的光谱能力。其高效、自动化的样品处理和高二次电子产率结合了广泛的光谱分析工具，在单个组件和纳米级成像的小特征尺寸中具有优异的分辨率和对比度。VeritySEM支持多种分析技术，如EDX、WDX、SEI光谱和CL分析。AMAT/APPLIED MATERIALS VeritySEM带有一个集成的点分析控制模块,该模块可提供快速、自动化的样品处理和定位,以及经过验证的稳定性,可显着改善具有挑战性的样品的信噪比。集成图像分析机（IAS）具有强大的对比度控制和测量能力,同时具有高分辨率的成像和低噪声,并提供无与伦比的精细成像。AMAT VeritySEM旨在实现分析结果的快速周转,其高级功能如自动标本定位、集成点分析、高度详细的图像分析和自动标准验证,可确保从各种样本中获得可靠和快速的结果。它是半导体行业高级故障分析和工艺开发的可靠工具,以极具竞争力的价格提供了一套功能强大的独特功能。
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