二手 FEI Altura 835 #9350300 待售
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ID: 9350300
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
Dual beam Focused Ion Beam (FIB) system, 8"
SEM:
S-FEG Column capable of normal FEG or SIRION FEG
Image resolution: ~3 nm
Voltage: 500 V to 30 kV
Modes:
Search mode
Ultra High Resolution (UHR) mode
Ion column:
Magnum ion column: 1pA and up to 20nA beam at 30 kV
Resolution: <7 nm at 30 kV, 1pA, 16.5 mm WD
Stage:
Automated loadlock stage, 8"
Travel: X, Y, Z, R
Tilt: - 6° to 52°
Wafer chips, 4"
Accuracy: ≤1.5 um
CDEM and TLD Detectors
(3) Gas injectors (GIS):
Platinum
Delineation etcher
IEE (XENON Diflouride etch XeF₂)
1998 vintage.
FEI Altura 835是一种扫描电子显微镜,能够为多种材料和应用提供高分辨率成像。显微镜具有全机化的舞台,可轻松定位样品,在明暗模式下提供出色的图像。这样可以方便地从各种角度和放大倍率进行样品检查。Altura 835配备了电子束的自动控制,以最大限度地提高分辨率元素的数量,并确保快速一致的样品成像。其SECtec技术是一个先进的成像平台,可为各种应用程序提供卓越的图像分辨率和对比度。除了先进的成像能力外,FEI Altura 835还能够捕捉3 D图像。这是通过高速反向散射电子束探测器完成的,该探测器为样品的三维视图提供断层扫描。此外,显微镜还具有先进的边缘分析工具,可用于测量样品上的2D和3D结构并深入了解材料的特性。最后,Altura 835配备了多种有用的配套组件。其中包括用于能谱成像的功能强大的硅漂移探测器(SDD),允许用户存储图像和设置的可编程软件模块,以及用于在超高真空环境中操作扫描电子显微镜的充气Torr腔室。总体而言,FEI Altura 835是一款用途广泛、功能强大的扫描电子显微镜,具有先进的成像能力。它在明暗模式下提供出色的图像分辨率,具有自动化的样本定位功能,并且可以使用其SECtec平台捕获三维图像。此外,其支持组件如硅漂移检测器和可编程软件模块使其成为广泛应用的理想选择。
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