二手 HITACHI CG-5000 #9389318 待售
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ID: 9389318
晶圆大小: 12"
优质的: 2015
Scanning Electron Microscopes (SEM), 12"
(3) Ports
C to C Auto loader
With Load / Lock system
Power cable (ISM): Main<->P
Electrified Sample Correction (SPM)
Auto calibration system by using stub pattern
Multi-Point / Gap / Comer radious measurement function
Image filing function
Recipe queue
TDK FOUP Opener
With RFID
EDWARDS iGX100 Dry pump interface
Signal light tower
Light curtain
X / Y Dual microscale
Energy filter
Ioniser
Edge roughness measurement
Line width roughness analysis function
Flat scan function
Maximum mag: 500K
GEM Communication interface
HSMS Communication interface
GEM 300 / HSMS / SECS
SECS Communication interface
CD Data transfer at CG5000
Measurement image upload function using FTP
FDC Function
Flexible scan function
Self alignment double pattern measurement function
Template generator function
Shield cover
EFEM Modification
VACC Modification:
Lowest: 200V
Highest: 5000V
E-Chuck stage system:
Display unit
Power supply unit:
Water circulator
With power cable
Pipe
Ion pump back-up
SE-Gun back-up
Optical Microscope: l 10x, 220x
Does not include:
Chemical filter
Pre-Dose, Optics modification HARC observation function
KRF Defect review network interface
Power supply: AC 208V, 60Hz
2015 vintage.
HITACHI CG-5000是由日本电子公司HITACHI, Ltd开发的扫描电子显微镜（SEM）。HITACHI CG5000机型是一款顶级台式机SEM,以其先进的成像能力和易用性而闻名。该仪器的基本设计包括一个具有五轴电动级的高分辨率柱和一个可变压力室。CG 5000还具有真空仪、电子枪和热电子发射灯丝,以及高功率、可变消色差物镜和趋势校正驱动系统,可对SEM的成像参数进行高度精确的控制。CG-5000的核心是HITACHI T800数字信号处理器，它为仪器提供运动控制和图像数据处理。先进的处理器和强大的电子枪相结合，即使使用苛刻的样品材料也能实现高质量的成像。HITACHI CG 5000能够以高分辨率产生许多不同的成像模式，如二次电子（SEs）、反向散射电子（BSEs）和阴极发光（CL）。产生的图像可以是二维（2D）或三维（3D）格式。该系统还为更困难的成像应用提供自动增益控制。显微镜的性能也受到其磁透镜和电子光学器件的推动，在提供高放大倍率的同时仍保持优秀的图像质量。该单元可容纳直径可达50毫米的样本量，可变压力室为各种样本量提供了优化条件。除了成像功能外，CG5000还具有自动粒子计数、元素映射、EDS光谱计算等高级分析工具。这有助于大大减少从样本分析中生成有用数据所需的时间。总体而言，HITACHI CG-5000是一种功能强大且用途广泛的扫描电子显微镜。它结合了先进的硬件和软件、易用性和高分辨率,是许多不同类型分析的绝佳选择。
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