二手 HITACHI S-7840 #293643102 待售
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ID: 293643102
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Critical Dimension Scanning Electron Microscopes (CD-SEM), 8"
2001 vintage.
HITACHI S-7840是一种专为高级材料表征而设计的高性能扫描电子显微镜(SEM)。这台仪器配置了一个新设计的电子光柱,配备了30千伏高压热电子场发射枪,用于提高分辨率和低噪声观测。它具有高性能的样品观测能力,因为它的大蚀刻角度透镜和较高的对比度成像能力。HITACHI S 7840包括玻璃室、自动标本扫描阶段和环境EM屏蔽,提供干净的超高真空 (UHV)基压为5 x 10-7 Pa的设备,整体高真空系统还能防止灰尘、原子粒子和其他污染进入仪器,从而允许对样品表面进行更高分辨率和更高精度的分析。集成的CCD摄像头和图像数据处理器允许生成高分辨率数字图像。SEM最多可使用五个检测器的数组从样本中获取数据。这些探测器包括二次电子(SE)、反向散射电子(BSE)和荧光X射线探测器。S-7840还具有独立的非接触式双次电子图像检测器,可在不受主电子束干扰的情况下获取图像。该仪器包含各种高级功能,以最大限度地提高分辨率和准确性。例如,标本支架具有一个列内阶段,用于水平扫描所有样本类型。舞台倾斜、可旋转和可调,以便从任何方向扫描各种形状、大小和材料的样品。电子枪具有0.5 nm点聚焦能力,检测器组件的RMS单元分辨率为2.5 nm。S 7840还拥有广泛的可选配件和软件,如自动扫描机和微分析工具,以最大限度地发挥其已经强大的功能。所有这些组件结合在一起,使HITACHI S-7840一个高性能的SEM,能够为所有类型的材料研究提供卓越的成像和分析结果。
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