二手 HITACHI S-8820 #9189515 待售
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已售出
ID: 9189515
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8"
V Notch and flat edge type
Cassette: (2) Ports
Robot & pri-aligner: MECS UTC-100, OF-250
Gun tip type: Denka 174DH (Exchanged new)
Image resolution: 5 nm (800V)
Accelerating voltage: 500V to 1300V (10V Step)
Electron optic system: Retarding methode
Measure repeatablity:
(3) Sigma: 1% / 5 nano
CD Measurement range: 0.1~10 micro
Throughput: 25" Wafer/Hour, (5) points
Magnification:
OM Mode: 100x
SEM Mode: 300x ~ 200, 000x
EWS:
HP B132 / HP B180 With LCD type monitor
Vacuum system:
(3) Ion pumps
(2) Turbo pumps
Stage system: X-Y 200mm Plus motor driving
Dimensions:
Main body: 1,170W x 1,890D x 1,650H mm
Controller: 600W x 1331D x 1800H mm
Power unit: 535W x 600D x 1500H mm
Options:
(2) Rotary pumps
(2) Dry pumps
Does not include Dry pump
1997 vintage.
HITACHI S-8820是一种先进的扫描电子显微镜（SEM）.该仪器可用于半导体评估、故障分析、生命科学研究等多种应用。HITACHI S 8820提供了广泛的功能，为研究人员提供高分辨率、高灵敏度和出色的图像稳定性。它利用场发射源，使其能够产生具有卓越分辨率的图像。各种冷凝器透镜提供了增强的信噪比，并允许更大的图像分辨率。这种显微镜扩大的可探测信号范围也使其具有巨大的动态范围，并允许观察微弱的信号，以及传递更明亮的整体信号。它还具有先进的电子束控制算法和出色的定位精度，具有稳定和可重复的成像性能。它具有高速加速电压范围，允许观察样品上的氧化等动态现象。有了它的大样本室，S-8820可以容纳大的样品直径，允许更详尽的分析。S 8820还提供出色的数据分析功能。它具有广泛的功能，可以通过数字信号处理来控制，例如图像的减法和加法。此外，计算机控制的舞台和光束扫描可以方便地测量深度剖面，这进一步有助于包括一个机动聚焦系统。可以设置和调整自动聚焦特征，以匹配样品表面，优化图像和测量结果。总体而言，HITACHI S-8820是一种极好的扫描电子显微镜，可以为研究人员提供对样品的清晰和详细的了解。其现场排放源、电动聚焦系统和强大的数据分析能力使其能够提供准确和高分辨率的成像性能。
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