二手 HITACHI S-9220 #9231943 待售

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ID: 9231943
晶圆大小: 12"
优质的: 2000
Scanning Electron Microscope (SEM), 8" 2000 vintage.
HITACHI S-9220是一种具有高级材料表征、研究和工业应用所需高端性能的扫描电子显微镜(SEM)。它允许用户访问各种成像和分析功能。该场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)具有高性能场发射电子枪,腔室压力低至1x10-7 Pa,可实现1nm的优越成像分辨率。HITACHI S9220具有超稳定的柱式设计,在低于2.0℃的温度调节下,可传导更高的电流直至60 nA。此外,300kV加速度电压提供了增强的成像分辨率.S 9220配备了许多独特的功能。例如,Inlens和Everlens探测器显示二次电子和反向散射电子成像,从而提高分辨率和表面地形。另一个特点是高速扫描阶段,可在100 μ m XY视场上提供4.5 μ/s的最大扫描速率。此外,超高真空室还能提供低至1x10-7 Pa的腔室压力,帮助防止样品产生并减少离子束损伤。S-9220能够获取各种分析信息。能量色散X射线光谱法(EDS)使得元素组成分析成为可能。EBSD探测器可用于获取取向图、相位识别、对晶粒的半定量分析以及化学成分的测量。另外,柱内Cs校正器允许散光校正,以快速调整焦点。S9220 FE-SEM还展示了有机材料的各种样品制备技术。原子探针层析成像、二次离子质谱、激光显微镜、聚焦离子束(FIB)能力可以加入,进一步提升仪器能力。此外,EDAX还提供了具有将HITACHI S 9220 SEM和EDS探测器与显微镜Inlens探测器连接的独特功能的Galaxy模块。Hirox相机和SEMcore级碰撞保护系统也为用户提供了至关重要的安全功能。SEMcore冲突保护系统将自动停止舞台,以防止用户损坏样品。HITACHI S-9220具有更强的成像和分析性能,是材料表征和研究的理想工具。
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