二手 HITACHI S-9220 #9261868 待售

HITACHI S-9220
ID: 9261868
晶圆大小: 8"
Scanning Electron Microscope (SEM), 8".
HITACHI S-9220是一种高分辨率、冷场发射扫描电子显微镜(FE-SEM),专为高放大成像和微米大小特征分析而设计。显微镜能够以最大150000X的倍率和最小1.5纳米的分辨率工作,从而能够对样品进行高度详细的成像和分析,直至原子水平。HITACHI S9220采用低能冷场发射电子源(CFES)进行最佳电子束稳定性,采用5轴级进行高通量样品处理。CFES也有助于提高显微镜的分辨率,允许改进成像和样品的详细分析。磁场发射电子源还允许在低真空条件下使用Ever-Ready Beam (ERB)进行成像。这改善了吸附或蒸发分子样品的成像和通量性能。S 9220还配备了多种探测器,包括反向散射电子(BSE)、二次电子(SE)和X射线探测器。BSE检测器可用于获取样本地形信息,而SE检测器可用于获取元素分析和观察表面纹理。X射线探测器能够获取能量色散X射线光谱(EDX)和波长色散X射线光谱(WDX)信息。HITACHI S 9220 SEM能够使用一系列低温聚焦离子束(FIB)系统自动制备样品。这包括执行自动样品对准和样品加载、自动顺序成像和样品粒度分布数据采集的能力。这消除了手动示例加载的需要,并大大提高了吞吐量。最后,S9220 SEM有一个大型4托架自动样品交换器。这允许自动化多个示例,并具有自动化的加载和卸载功能,从而能够快速访问各种示例。此功能大大提高了成像和分析吞吐量。总体而言,S-9220是一个高度先进、全自动的FE-SEM,用于高分辨率成像和微米大小的特征分析。它结合了高放大倍率、最先进的CFES和自动化样品制备系统,使其成为高度复杂样品成像和定量分析的理想选择。
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