二手 HITACHI S-9300 #9169651 待售
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ID: 9169651
晶圆大小: 8"
CD Scanning electron microscope (CDSEM), 8"
Electron optical system:
Electron gun: Schottky emission source
Accelerating voltage: 500 V to 1600 V, 10V Steps
Probe current: 4~24pA
With automated setting and measurement by Faraday cup
Electromagnetic lens: (3) Stages
System with boosting voltage
Objective lens:
(4) Opening click stops
Heated aperture
Scan coil: (2) Stages electromagnetic deflection
Astigmatism correction via an 8-pole electromagnetic coil
Magnification: 1000x to >300000x
Field control method: Sample de-charging
Wafer imaging ability: Entire surface of 8” (or 12”) wafer
Depth of focus: >= 1.0um at 80000x magnification
Resolution: 3 nm (800V) Retarding / Boosting mode
HITACHI Probe tip
Optical microscope system:
Monochrome image, using CCD camera
Magnification: 110x
Wafer imaging:
X Coverage: 5-295 mm
Y Coverage: 5-195 mm
Notch down
Field of view: 1.2 mm
Workstation:
Model: HP B180L (9GB)
O/S: Unix version HP-UX 10.20
Software version: 14.71
SECS/GEM Communication interface
Dual XY HITACHI microscale
DSP Image processing
BSE Mode functionality
Multipoint measurement function
Edge roughness function
Automated image archiving function
Others:
(2) 200 mm Wafer handling systems
Cassette holders / Ergo flippers
Convertible to 300mm with conversion kit BRK-287006300
Currently crated and warehouse.
HITACHI S-9300是一种扫描电子显微镜（SEM），用于观察和分析各种样品的结构。这种特殊的SEM是可变压力（VP）设备，允许使用者控制电子束的压力，允许观察和分析微小的粒子和结构。HITACHI S9300利用5通道视频端口快速捕获图像,允许实时放大屏幕放大到500,000X。该设备还具有高级图像处理软件,可实现各种图像增强功能,如标记、调整对比度、伽马校正和无限制的绑定功能。S 9300利用场发射电子枪作为其来源，允许一个干净的电子束被发送到样品。这把枪由高品位的钨材製成，在标准和高分辨率的设定下都能提供约16纳米的分辨率。S-9300的高精度点尺寸由其15轴运动控制系统维持。此运动控制单元可实现锐利而精确的运动,从而实现边缘到边缘的成像。另外，这台机器还能防止电子束的任何机械散焦，因此微小粒子的图像可以在不失真的情况下渲染。S9300具有获得专利的光学工具,可提供强大的照明和成像功能。这一光学资产包括一个5镜头物镜柱和一个5镜头投影仪柱，两者均由低摩擦、精密级玻璃制成，以确保图像和样品的最高清晰度。HITACHI S 9300的另一个特点是高级控制表面。这款8.4英寸液晶彩色显示屏使用户能够快速访问易于理解的屏幕菜单,并提供各种自定义选项。除上述特性外，HITACHI S-9300还能够用多种方法分析样品，如能量色散X射线光谱和电子反向散射衍射。此外，HITACHI S9300还获得了在洁净室中运行的认证，使这种设备非常适合用于半导体器件的制造和分析。总之，S 9300是一种高效、通用的扫描电子显微镜，为各种应用提供先进的功能和先进的硬件。凭借其高精度光学、精密的运动控制模型和实时图像捕获功能,S-9300提供了观察和分析微小粒子和结构的理想平台。
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