二手 HITACHI S-9360 #293808328 待售
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ID: 293808328
晶圆大小: 8"
优质的: 2003
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8"
Dual load port
Wafer aligner
Electrostatic chuck
Turbo Molecular Pump (TMP)
Ion pump
2003 vintage.
HITACHI S-9360是一种扫描电子显微镜(SEM)设备,能够对包括半导体晶圆、电子元件和生物样品在内的各种物体表面进行高分辨率成像。显微镜采用紧凑的设计,集成支架和倾斜柱,使其易于定位,适用于广泛的应用。该系统的放大倍数可达200,000倍,可对小型样品进行详细成像。SEM利用环形场发射枪(FEG)产生高度聚焦的电子束。扫描横跨样品的光束以创建高分辨率图像。电子束还被用于进行能量色散X射线光谱(EDS),这使得研究人员能够识别样品中存在的元素。该单元具有直观的图形用户界面,便于操作,以及一系列自动化功能,如自动对齐、零mag校准和点对点控制。此外,该机器与HITACHI高级图像处理软件(IP-basic)兼容,可用于增强SEM图像。该工具设计为高度可靠和稳定,具有减振资产,限制了外部振动对成像质量的影响。冷却模型可确保在宽广的温度范围内稳定运行,并且在需要时可以轻松快速地冷却设备。HITACHI S9360扫描电子显微镜可产生多种放大倍率的高质量图像,广泛应用于工业和研究应用。它具有直观的操作、自动化的特性和坚固的结构。
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