二手 HITACHI WB-3100 #9256081 待售

ID: 9256081
Wafer bump inspection system.
HITACHI WB-3100是扫描电子显微镜(SEM)的一种,利用电子柱来製作标本的影像。其柱上装有几个探测器,如二次电子探测器、反向散射电子探测器和能量色散X射线探测器。这款SEM具有0.2到30kV的工作电压,以及带有偏振膜片的线圈形电子枪。它使用一对磁性透镜将电子束聚焦到样品上。还采用了自动水平检测器,实现精确聚焦定位。仪器观测场宽达124mm x 86mm。它还提供了各种各样的放大倍率,从20倍到1600倍左右不等。借助野外发射枪,以稳定的光束电流实现更快的成像。它配备了一个创新的数码相机设备,配备了高达一千万像素的相机。这有助于以更好的分辨率和色彩精度来捕捉图像。相机系统还具有图像内存功能,可将图像存储在内部内存中。显微镜具有高速、高精度的控制单元,以优化的步长和电子束角度实现平滑扫描。还实现了自动对齐机,可以精确调节45到60度之间的倾斜角。WB-3100完全方便用户,具有交互式和全面的操作屏幕。它还提供了广泛的功能,如自动自校准和维护周期、缺陷检测模式、试样倾斜功能以及多种预编程操作模式。仪器还配备了EDS(能量色散X射线光谱仪)进行元素分析。它有一个低噪声检测器,使仪器能够检测到微量的元素。最后,显微镜还配有隔振台,大大降低了仪器对振动的吸收,从而保证了光滑成像。
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