二手 JEOL 6400F #9071901 待售
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ID: 9071901
晶圆大小: 6"
Scanning electron microscope, (SEM)
6" Wafer loadlock
Chamber system
Secondary and backscatter imaging
Specimen stage:
Type: Fully eucentric goniometer stage
X-direction: 100 mm
Y-direction: 110 mm
Z-direction: 34 mm
Tilt: -5° to 60°
Rotation: 360° endless
Working distances: 5 - 39 mm
Specimen holder for 12.5 mm diameter x 10 mm height
Specimen holder for 32 mm diameter x 20 mm height
Specimen exchange:
By airlock up to 150 mm diameter specimen holders
By stage drawout 200 mm diameter or larger holders
Absorbed current measuring terminal: built-in
Specimen protection buzzer: built-in.
JEOL 6400F是下一代扫描电子显微镜（SEM）。该仪器是一种通用工具，可用于各种纳米级成像和分析应用。6400F使用电子源生成一束电子束，然后将其聚焦并操纵以创建样品表面的图像。这种高度可靠和敏感的仪器具有高分辨率成像、高通量分析操作以及易于使用和维护的优点。JEOL 6400F配备可变压力、水冷电子枪。这允许用户调整腔室的工作压力，有助于最大限度地减少不需要的表面充电，并提供准确的样品成像，而无需调整加速度电压。该枪可以达到30kV的最大加速度电压，并且能够将电子束聚焦成直径为25 nm的点。SEM包括多种探测器,包括二次电子探测器、反向散射电子探测器、能量色散X射线光谱仪和波长色散X射线光谱仪。EDS系统可用于元素分析，而WDS系统可用于更精确的化学分析。除了成像和分析操作，6400F还有其他几个特点，使其成为纳米技术研究的理想工具。它包括一个可以手动或自动控制的舞台，允许用户旋转、倾斜或移动样本，以便对不同感兴趣的区域成像。它还包括自动化的图像处理和操作软件，可以帮助研究人员准确、快速地获取分析所需的数据。JEOL 6400F提供出色的分辨率和高稳定性，使其成为纳米技术研究的优秀仪器。它是一种易于使用的仪器，其各种特性使其用途广泛，足以用于广泛的应用。它的分析和成像能力超过传统显微镜工具，可以帮助研究人员获得对传统技术无法进入的纳米级世界的宝贵见解。
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