二手 KLA / TENCOR 8100 #188124 待售

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ID: 188124
CD SEM Version: 125-200 MM Resolution 3.4 to 3.6 nm at 600v Pipeline mode better than 90 wph, 3 sigma on 0.3 um line=0.3, Loadable wafer size 4.5 inch, 125 mm, 200 mm Operating system V7.6,8100 sw version 2.3.2 Stage precision 1.4 um in x and 1.6 um in Y Column Vacuum 1.5 x 10-7 Torr Chamber vac. 1.8 X 10-7 Torr Missing Metrofocus 1998 vintage.
KLA/TENCOR 8100是一种先进的扫描电子显微镜(SEM),为科学家所需的最高成像分辨率和多功能性提供最佳性能。它能够为广泛的研究和产品开发应用程序提供最大的灵活性和控制。KLA 8100的核心设备包括一个电子柱、一个大功率电子源以及一套数字图像检测和处理系统。电子柱作为显微镜的光学和成像子系统,包含两个透镜:一个物镜和一个半apochromat透镜。这些透镜被设计成将电子聚焦在被检查样品的一个区域上。物镜还包含一个光圈来选择镜头的放大范围。电子源分为两个模块:一个离子枪,以提供高能电子源,和灯丝加热机制。离子枪利用气体射流产生高能电子束,聚焦在样品上的特定点上。灯丝加热机制控制电子的能量,稳定图像对比度。这使得TENCOR 8100能够获得具有出色对比度和分辨率的精确图像。8100还配备了数字成像检测系统,以各种放大倍数捕获和处理样品图像。它使用三个通道(基本通道、中间通道和高级通道)的组合来捕获图像。基本通道设计用于一般成像应用,用于执行低分辨率线路扫描的中间通道,以及用于捕获高分辨率图像的高级通道。KLA/TENCOR 8100还具有降噪单元,其中使用了一系列高速计算机算法来降低获取图像中的噪声。这台机器有助于保持图像清晰度,并提高使用KLA 8100进行的观测的图像质量。此外,TENCOR 8100具有可变压力操作,允许用户使用通常需要在大气压下观测的样品。这意味着8100可用于在更接近其自然操作条件的环境中观察样品。总体而言,KLA/TENCOR 8100是一种高级SEM工具,可提供顶级映像性能和多功能性。它具有高分辨率成像功能、可变压力操作和降噪资产,非常适合广泛的研究和产品开发应用。
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