二手 KLA / TENCOR 8100 #293652756 待售

KLA / TENCOR 8100
ID: 293652756
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM).
KLA/TENCOR 8100是一种基于桌面的扫描电子显微镜(SEM),专为检查大面积半导体晶片而设计。KLA 8100先进的电子光学和成像光学使其能够以高分辨率快速准确地捕获和分析图像,使其成为分析先进半导体生产中设备缺陷和工艺变化的理想选择。TENCOR 8100提供了一套令人印象深刻的功能,如高性能能量滤波器成像、相位对比度和光谱成像。其能量滤波成像允许半导体器件的高对比度成像,并能消除光学干扰。相位对比度成像功能增强了表面积对比度,使复杂曲面上的小特征具有更好的可视化效果。最后,8100的光谱成像使样品的元素和化学映射能够进行高级分析。KLA/TENCOR 8100提供了出色的灵敏度和分辨率,可以对放大倍数高达6,000倍的样品进行精确成像。KLA 8100的高分辨率探测器能够捕捉尺寸小至1纳米的物体的锐利图像。此外,TENCOR 8100还配备了多种电子和成像选择,包括二次电子、反向散射电子以及明暗场成像。8100与广泛的样品持有者兼容,包括4英寸和6英寸的晶片、封装的设备、碰撞模具。除了KLA/TENCOR 8100的高级成像功能外,系统还设计了一个直观的用户界面,简化了操作并缩短了培训时间。大型全彩色液晶显示屏可交互式控制扫描参数,并允许用户快速预览和调整图像。KLA 8100还提供了多种后期处理功能,能够有效地查看和分析图像。总体而言,TENCOR 8100是研究大面积半导体晶圆的绝佳选择。其强大的成像功能、直观的用户界面和通用的样本持有者使其成为详细缺陷分析和过程监控的理想工具。
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