二手 KLA / TENCOR 8100 #9203296 待售
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KLA/TENCOR 8100是一种具有高性能的扫描电子显微镜,设计用于成像和组成分析。它具有冷场发射源和高性能SE检测器.电子光学系统以先进的柱设计为基础,在广泛的工作距离和放大倍数上提供卓越的成像能力。该显微镜具有亚纳米分辨率成像能力,在低发射模式下,可容纳较小的光束尺寸进行组成分析。KLA 8100具有很高的分析灵敏度,为高效成像和合成分析提供了先进的扫描和精确控制。分析深度方向的化学成分具有深度剖析的能力。它有一个内置的光学增强反向散射检测器和双离子检测器,用于元素映射和组成分析的离子能谱测量。TENCOR 8100为用户友好的工作流提供了广泛的自动化功能,包括样本处理、样本定向检测、自动图像捕获以及集成任务(如图像缝合)。该显微镜可与中低真空测量级结合使用,用于显微镜和真空级之间的对准和处理自动SEM样品交换。8100在近光电流下产生具有良好对比度和高信噪比的图像,从而使用户能够获得最大细节和最小充电伪影的大视野。自动化功能和软件控制的图像合成减少了多变量分析的操作员时间。KLA/TENCOR 8100是半导体失效分析的理想工具,研究金属、陶瓷、无机、复合材料、工业聚合物、生物样品等多种材料。也适用于器件结构的表征,评估表面形态和光刻缺陷,测量粒径、形状和表面粗糙度。
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