二手 KLA / TENCOR 8100 #9292623 待售
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ID: 9292623
晶圆大小: 4"
优质的: 1998
Critical Dimension Scanning Electron Microscopes (CD-SEM), 4"
Resolution: <4.5 nm
Electron source: Schottky, Thermal field emitter
Magnification: 2.34,000x - 400,000x
Stage: X-Y Leadscrew stage
Position accuracy: < 10 micron
Accelerating voltage: 0.4 kV - 1.5 kV
Throughput: Up to 40 wafers/hr
1998 vintage.
KLA/TENCOR 8100是一种先进的扫描电子显微镜(SEM),提供该领域最先进的技术。它是新一代高端SEM,旨在提高易用性,同时为研究和工业应用提供卓越的性能。KLA 8100具有广泛的特性和功能,使其成为科学家和研究人员的宝贵工具。它具有用于高吞吐量成像的自动化平台,允许用户从各种样本中快速收集数据。它也有一个优秀的能量色散X射线(EDX)设备,可以用于样品表面的元素分析。这使用户能够准确确定他们正在研究的样本的组成。TENCOR 8100利用了一个新的数字成像系统,称为数字成像立体(DIS)。这个单元包含了数码相机、步进电机和舞台扫描机构,允许高速扫描和非常精确的位置控制。DIS允许对样品表面的精细特征进行详细的视觉检查。8100配备了完全自动化的样本处理功能,允许在没有用户干预的情况下完成不同的任务。有了板载标本操纵机,用户可以快速方便地附着、移动、倾斜、旋转样品,以便从不同角度进行扫描。这样就可以对样品进行完整的3D成像和分析。KLA/TENCOR 8100还具有一系列的环境控制特性,意味着它可以用于多种环境条件。它具有水泵、蒸发器和湿度感测技术,以便能够精确测量它正在工作的环境。这使用户能够微调该工具以实现更精确的成像和分析。总体而言,KLA 8100是一种最先进的扫描电子显微镜,具有许多有利于研究和工业应用的功能。对于那些需要极其精确的成像和分析资产的人来说,这是一个极好的选择。
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