二手 KLA / TENCOR 8100XP #9225281 待售
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ID: 9225281
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8"
Load ports: ASYST-3LP
Standard chuck
Etch module
Copper process
CE Marked
2000 vintage.
KLA/TENCOR 8100XP是一种扫描电子显微镜(SEM),旨在提供高达纳米级分辨率的表面高分辨率图像。设备配有超检测器和镜头内检测器,以最大化分辨率。系统在二次电子模式下的分辨率可以达到2.0纳米,反向散射电子的分辨率可以达到4.0纳米。KLA 8100XP具有SampleID阶段,它是一种可靠且先进的样本分级和映射技术。它能够扫描200 mm区域、Z轴移动、倾斜能力和自动对焦。TENCOR 8100 XP具有一个成像单元,旨在捕获高分辨率图像,包括二次电子和反向散射电子。该机还包括一个EDS工具的能量色散光谱。这种装置可以用来帮助区分基于元素的材料和表征表面的化学成分。此外,8100 XP还具有集成的可变压力SEM,可在各种压力下进行分析,以及用于分析绝缘材料和有机材料的低真空选项。KLA/TENCOR 8100 XP的光学资产具有镜头内探测器和环形探测器,可实现一致的高分辨率成像。该型号的8英寸方形真空室可以方便地容纳更大的样本量。它配备了自动对焦和自动污名功能,为成像提供了稳定的基线。设备由基于Windows的软件平台驱动操作,具有广泛的图像处理功能。KLA 8100 XP是一种可靠且高度精确的扫描电子显微镜,允许用户以纳米级分辨率捕捉图像。其集成的样品分期技术和独特的成像能力为研究人员和工程师提供了调查和绘制各种不同材料表面的组成和结构所需的工具。该系统非常适合于高分辨率的纳米级材料分析和成像。
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