二手 KLA / TENCOR 8100XP #9225706 待售

ID: 9225706
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8" Load ports: ASYST-3LP Standard chuck Etch module Copper process CE Marked 1996 vintage.
KLA/TENCOR 8100XP是为半导体工业中最苛刻的计量应用而设计的临界维度(CD)扫描电子显微镜(SEM)。它配备了业界领先的CD测量分辨率和优越的图像质量。KLA 8100XP提供了一系列特性和功能,使其成为最重要的高分辨率成像仪器之一。TENCOR 8100 XP配备了高分辨率的Everhart-Thornley二次电子探测器,使用户可以捕捉到对比度和清晰度都很高的小尺度特征最详细的图像。SEM具有高性能的Hamilton电动偏转器系统和先进的导航探头,这两者都使光束的精确放置能够确保无缺陷的样品。该仪器提供基于硬件的模式识别算法,能够快速准确地对扫描样本上的特征进行注释。KLA 8100 XP还具有"蒙特卡洛"粒子模拟器。这种独特的技术可以模拟和预测梁是如何被样品上的小尺度特征偏转、散射和吸收的。这允许用户优化参数以提高图像质量。SEM还提供了许多其他功能来提高工作流效率和样本准确性。"SmartSmart Point"功能使用户能够快速准确地测量小型功能,而无需复杂的校准。它还具有一个"点计数"功能,可以方便地测量小粒径缺陷,以及一个"结转"功能,可以分析同一样本上的不同模式。KLA/TENCOR 8100 XP用户友好、易于维护和高度自动化,非常适合要求极高的半导体计量环境。它提供了无与伦比的可靠性,即使在最不利的条件下也能保持运行。8100 XP是任何半导体计量应用的可靠而强大的工具。
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