二手 KLA / TENCOR 8250 XPT #293820567 待售
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ID: 293820567
晶圆大小: 4"-6"
优质的: 2001
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 4"-6"
Wafer handler
Robot
(3) Loaders
Pre-aligner
SEMI Equipment Communications Standard / Generic Equipment Model (SECS/GEM) interface
Vacuum system
2001 vintage.
KLA/TENCOR 8250 XPT是下一代扫描电子显微镜(SEM),设计用于材料和器件的原子级表征,用于许多领域的研发,包括半导体器件制造、纳米技术和材料计量。KLA 8250 XPT建有真空设施,可让显微镜操作到低至0.1 Pa的压力,允许最高分辨率的成像能力。它还配备了全自动样品制备室和快速样品交换系统,使快速准确地准备样品进行分析成为可能。TENCOR 8250XPT采用5轴级,带有多轴测角仪和二级平面级,可在不妨碍检测小缺陷的情况下检查不同类型的样品。这个阶段结合了一个高精度的自动对焦系统,使用四个独立的图像感测探针来精确地找到任何给定样本的最佳聚焦水平。显微镜配备了一系列电子枪配置,从可变斑点大小的电子枪到可变腔轴枪。这样可以确保每个成像应用都采用适当的光束光斑尺寸和能量。KLA 8250XPT还利用改进的闪烁体配置来生成低光束和高光束电流模式下的高分辨率图像。8250 XPT有一个名为尤里卡的控制软件平台。此软件提供了高级功能,如集成的自动缺陷审查、迭加、横截面场分析、电子反向散射衍射、模式识别和自动模式对准-所有这些功能使用户能够最大限度地提高数据采集效率和准确性。此外,TENCOR 8250 XPT还有一个集成用户控制台,它提供了直观的界面,使操作员能够捕捉和分析扫描电子图像。这使用户能够快速、方便地访问显微镜的所有功能,也为他们提供各种数据处理和分析功能。总体而言,KLA/TENCOR 8250XPT是一种最先进的扫描电子显微镜,为半导体器件和材料的表征提供了卓越的性能和精度。广泛的电子枪和闪烁体配置、灵活的舞台系统和全面的用户界面相结合,使8250XPT成为多个领域研发的强大而通用的工具。
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