二手 TOSHIBA / NUFLARE EBM-3500 #293817976 待售
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ID: 293817976
Electron beam lithography system
Covers
Input/Output (I/O) arm
Remote Monitoring System (RMS)
Extra High Voltage (EHV) cabinet
Automatic Lens Control (ALC) cabinet
Analog Control Processor (ACP) cabinet
Vacuum & Alignment Logic (VAL) cabinet
Electron Optical Controller (EOC) cabinet
Data Path Writer (DPW) cabinet
Motion & Alignment Control (MAC) cabinet
Pattern Data Formatter (PDF) cabinet
PRX cabinet
Power Control Unit (PCU)
Transformer Rectifier Unit (TRU)
Chiller
Environmental Warning System (EWS)
(3) Dry pumps
Orion
(6) Exhaust covers
(8) Sub‑controller boxes (SUB), AMP boxes
Cables
Standard Mechanical Interface (SMIF) loader.
TOSHIBA/NUFLARE EBM-3500是一种扫描电子显微镜（SEM），提供二次电子成像、反向散射电子成像和能量色散X射线光谱（EDS）等技术。SEM拥有高达25mm的大视场（FOV）和能达到1.0 nm分辨率的高质量成像仪。其EDS系统为X射线映射和元素分析提供了高的光谱分辨率和准确性。SEM配备了冷场发射枪（CFEG），允许近束电流成像、高分辨率成像和低阴极损伤。高质量的扫描电子光学器件设计为最大限度地减少散光和昏迷，同时还提供了较大的景深和广泛的工作距离。SEM配备了多种控制和分析软件包，为用户提供了一套全面的功能。这些软件包提供自动图像缝合、图像锐化和光谱图绘制等功能。TOSHIBA EBM-3500还配备了晶圆处理程序,可自动交换基板。该系统支持高达150毫米、200毫米和300毫米的晶片,这些晶片可以以高达20毫秒/像素的速度进行扫描。SEM包括一个带创新样板阳台的样板室，方便出入和操作。它能够在-20°C至15°C的温度下运行。NUFLARE EBM-3500具有升级的计算机系统、用户友好界面和打印驱动程序。它设计为易于使用和维护。EBM-3500扫描电子显微镜是一种功能强大、用途广泛的工具，旨在实现材料科学、纳米技术、半导体制造、冶金等许多领域的科学探索和知识。它结合了精确的成像能力、元素识别和易于操作等特点,使其成为研究、行业和教育目的的理想选择。
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