二手 ZEISS ZBA21 #9108115 待售

ID: 9108115
晶圆大小: 6"
优质的: 1990
Electron beam lithography system, 6" Pattern generator Gun: LaB6 Acceleration voltage: 20 keV Shot size: Variable shaped rectangular shape, 100×100 nm2 up to 6.3×6.3 µm2 Beam current: 1-2 A/cm2 Interferometric laser stage Magazine loadlock chamber for (10) substrates Substrate size: up to 7" square (photo plates) Turbomolecular pump Operation and maintenance manuals included 1990 vintage.
ZEISS ZBA21是一种扫描电子显微镜,将高分辨率成像和分析与快速高效的数据样本采集过程相结合。该设备使用电子柱通过检测样品发出的电子来创建样品的图像,以便给出样品表面的高度详细的表示。ZEISS ZBA 21的高分辨率成像能力使得观测纳米尺寸的结构成为可能,这对于晶体结构的分析或纳米技术材料的研究等应用非常重要。ZBA21扫描电子显微镜配有先进的电子柱设计,可确保稳定可靠的成像性能。柱子上装有几个组件,包括一根灯丝和一个有助于引导和聚焦电子的多透镜系统。这保证了样品的电子图像可以极其详细和准确。ZBA 21能够成像多种材料,包括无机化合物、半导体和生物样品。这是由于可以调整的宽范围的加速电压和光束电流水平,以控制图像的分辨率以及它的景深。蔡司ZBA21还能够处理各种样本量,非常适合研究小型结构的特性。ZEISS ZBA 21提供了多种图像采集模式,包括扫描透射电子显微镜,它通过成像电子,通过一个紫外线样品进行透射来创建图像;反向散射电子成像,通过检测样品表面的二次电子来创建图像;二次电子成像,通过检测样品表面的二次电子来创建图像。这允许进行广泛的实验和研究。ZBA21还提供高级数据处理功能,允许用户快速分析图像以评估其样本属性。这包括尺寸和形状测量、化学成分映射以及其他分析功能。在安全性方面,ZBA 21单元设计有坚固的屏蔽,最大限度地降低暴露于被调查样品发出的二次电子或X射线的风险。此外,该机器还具有一个多级压力控制工具,旨在降低样品污染的风险,并确保显微镜在安全的压力范围内工作。总体而言,ZEISS ZBA21扫描电子显微镜是一种先进可靠的工具,它结合了高分辨率成像、高效处理和几个先进的安全功能,能够进行广泛的高级样品分析和研究。
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