二手 ROTH & RAU DEPx1500 #185721 待售

ROTH&RAU DEPx1500是一种多功能太阳能生产设备,专为高性能和最大吞吐量而设计。这种生产机械是为在包括高效后表面太阳能电池生产在内的多种应用中持续运行而设计的。这一太阳能生产设备配备了灵活的处理模块平台，允许对硅片进行高质量的处理。其先进的流程自动化功能可以同时自动处理多个单元，并允许用户设置特定的自动化例程，以最大程度地减少生产时间和最大限度地提高吞吐量。DEPx1500使用蚀刻和沉积技术进行加工。蚀刻技术将硅从晶片的顶层移除，并将硅沉积在底层。在蚀刻过程中，该装置产生均匀的线条图样，具有最小的重新沉积、深层均匀的沟槽和较高的蚀刻速率。该装置还具有沉积特性，可沉积均匀的氮化硅、二氧化硅、非晶硅等薄膜。ROTH&RAU DEPx1500专为高速低缺陷生产而设计.它配备了大型工作台和节能抽水系统，以加快循环。真空系统设计为提供温度均匀性和均匀压力。它还有一个自动晶圆映射机，可以测量给定工艺条件下晶圆的表面地形。DEPx1500还包括综合质量控制和缺陷检查系统，以减少浪费。其基于激光的缺陷检测系统可以检测到缺失或未对准的表面特征和颗粒污染。软件控制参数提供精确的控制和精确的过程再现性。此外,ROTH&RAU DEPx1500还具有先进的安全特性.它有一个牢固粘合的基板，防止晶圆损坏和防止潜在的电气和热危险。高端温度管理系统进一步防止温度损失，确保基板和工艺温度按照规定的工艺参数进行维护。这使得DEPx1500成为安全可靠的太阳能生产设备。