二手 ROTH & RAU / OTB SOLAR MicroCluster400DRM #293608661 待售

ID: 293608661
晶圆大小: 4"
优质的: 2012
PVD System, 4" Process: SiO2 (2) Magnetrons (2) DRM Chambers 2012 vintage.
ROTH&RAU/OTB SOLAR MicroCluster400DRM是OTB SOLAR产品系列的高效太阳能生产设备。它为可靠和高质量的太阳能电池生产提供了最高的可靠性和正常运行时间。OTB SOLAR MicroCluster400DRM是一种高端、可扩展的自动化设备,非常适合半导体生产,具有高可用性和正常运行时间。它有一个自动化的晶圆处理程序和一个全面的材料处理系统,并设计以满足所有的需求的现代化,高效的制造过程。其集成过程控制单元具有高精度校准和广泛的可用参数。这台机器有助于保证最佳、可重复的处理性能,从而实现高水平的质量控制。该工具具有四个交互级别,每个级别都有各种自动化、手动和校准参数。这些级别使用户能够创建自定义配方和处理步骤以满足其独特的需求。ROTH&RAU MicroCluster400DRM节能,采用单相或三相电源。与传统系统相比,这可以大大降低能源成本。它还采用热回收技术,利用过程中多余的能量维持一致的工作环境。拥有激光扫描检测、温度监测控制、应急电源开关等先进安全功能。这为性能和过程完整性提供了保证。MicroCluster400DRM每小时可处理约400个晶圆。这对于大批量生产、提高效率和降低运营成本是有利的。总体而言,ROTH&RAU/OTB SOLAR MicroCluster400DRM具有广泛的功能,可以使太阳能电池生产更加可靠、经济高效和高效。它将自动晶片处理与全面的材料处理资产、高度精确的过程控制模型以及高级安全功能结合在一个包中。其高可用性和正常运行时间、低能耗和高级安全功能以及高性能功能使其成为太阳能电池生产的理想选择。
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