二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-49247 #293821010 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Endura 2 Reactor是一种最先进的设备，设计用于先进的薄丝加工，如半导体材料、光致抗蚀剂或电介质的沉积。其独特的配置结合了高真空、低温的环境和先进的材料源面板，实现了对薄膜厚度、成分和台阶覆盖的精确控制。AMAT Endura 2反应堆由四个低温源板包围的主室组成。在源面板上，用户可以附着多种材料，如金属、氧化物、氮化物或多晶硅，加热至精确温度。这样可以更好地控制薄膜的特性,如组成、阶梯覆盖和热电阻率。此外，这些面板便于使用薄膜和复杂的沉积剖面。APPLIED MATERIALS Endura 2 Reactor内部的主室是一个高真空环境，由四个涡轮分子泵位于其每一个角落维持。位于腔室中心的集成石英板提供了一个坚固的平台，在该平台上安装和操纵源和样品支架。室内压力通常降低到0.1-0.2 mtor的极低范围，从而实现超高纯度沉积，无杂质。Endura 2的有效操作需要部分腔室填充气体，例如氦气或氙气，以维持在所需范围内的压力。除主室外，AMAT/APPLICED MATERIALS Endura 2反应堆还设有集成控制系统，以确保对过程变量的精确控制并实现可重复结果。该单元利用Xycom XPNT控制机与精密运动控制器和以太网通信，允许用户为薄膜沉积编程一流的工艺配方数据。AMAT Endura 2反应堆的附加好处包括运行成本低，脚印相对较小，清洁能力极佳。它的设计考虑到了环境责任，并获得了MPZ国际质量标准的广泛认可的环境认证。总体而言，APPLIED MATERIALS Endura 2 Reactor为先进的薄膜处理提供了可靠、计算机控制的平台，实现了高质量材料沉积的精确、可重复、低成本的结果。