二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for DPS #293634864 待售

AMAT, Inc.（APPLIED MATERIALS）DPS腔室是一种湿蚀刻和干灰系统，主要用于半导体加工应用。DPS代表精密服务部，这个会议厅的前身。它是一种水平流动蚀刻器和灰化器，这意味着它通常使用液体或固体化学物质操作，这些化学物质垂直循环通过腔室内部。DPS室采用不锈钢结构，焊接电解质级铝衬里耐用，性能良好。大约三分之一的腔室内衬有可移动的高温玻璃插件。该室还具有围绕进气口和出口口的不锈钢真空密封。该腔室设计为能够以高度的可重复性和精确度同时处理单个晶片或多个晶片。晶片通过机械指柄固定在腔室内部，并通过真空端口固定在腔室底板上。这使腔室能够保持密集的气体气氛，并能够有效的湿蚀和化学交换操作。DPS腔室中使用的化学物质可以根据应用情况而有所不同，但一般包括氢氟酸（HF）、硫酸（H2SO4）、氢氧化钾（KOH）、柠檬酸（Citric Acid）以及其他多种酸和碱。正在加工的晶片暴露于化学蒸气或汽化液体溷合物中，通常是氧气或氮气，这有助于促进所需的化学蚀刻或灰化过程。该腔室还配备了大气控制功能，以保持腔室内恒定压力，最大限度地降低颗粒污染风险。腔室与真空系统相连，在腔室内提供受控且均匀的压力，以及在腔室内保持低压。在腔室的外部，有许多控件和仪表用于管理腔室内的过程。这使操作员能够监测腔室压力、正在使用的化学物质以及温度。此外，腔室还可以配备各种传感器和警报器，使操作员能够跟踪和监控过程的进展。DPS腔室是半导体晶片蚀刻和灰化的绝佳工具。为电子设备的制造提供了可靠、受控的环境。该腔室可用于多种工艺，包括深反应性离子蚀刻（DRIE）、湿蚀刻、化学气相沉积（CVD）和化学机械抛光（CMP）。这种可靠、可重复、准确的工艺使得DPS腔室成为制造高性能、高精度元件的绝佳选择。