二手 LAM RESEARCH Process chamber for Alliance Exelan HPT #9270763 待售
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ID: 9270763
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Etcher, 8"
Pressure gauge: 685-097707-002
Gate valve: VAT98801-R1
Gate valve controller: VAT VM-6
Turbo pump: STP-A1603C
Turbo pump controller: SCU-A1604C
Bias RF generator: OB1-R03
Power supply: 208 VAC, 50 A, 50-60 Hz, 4 Wires
Gas boxes missing
2001 vintage.
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