二手 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse #166464 待售

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse是一种用于制造半导体器件和MEM的溅射设备。该系统由直接和间接溅射工具组成，非常适合兴奋剂、薄膜沉积和蚀刻等应用。直接溅射工具采用磁控管溅射，利用磁场电离和加速惰性气体产生等离子体，将物质从目标溅射到基板上。这种溅射方法效率高，非常适合小批量生产运行。间接溅射工具使用卷到卷的沉积室将物料从旋转的目标溅射到基板上。这种方法可用于大规模均匀、高质量的薄膜沉积，因为可以快速、轻松地替换目标。这两项服务都有多种流程配方,允许轻松定制和优化以满足需求。溅射单元还使用控制面板和软件，允许用户监控过程稳定性，确保晶圆处理恒定一致。MRC Eclipse既能够充气也能充气氮气溅射，容许优越的材料选择性。该机具有自动对准功能，可方便准确地定位目标和基板在溅射室中。此外，TEL Eclipse与一系列可选模块兼容，如反应性溅射、离子源和静电卡盘。这样可以提供更大的灵活性和精确度,以与各种工艺需求相抗衡。该工具还提供全自动晶圆处理资产,旨在提高生产率和减少疲劳。此模型允许预先编程的溅射过程,并且无需手动干预即可运行。通过将最新的溅射技术与直观的软件相结合，Eclipse提供了可靠高效的溅射设备，可以满足各种工艺的需求。TOKYO ELECTRON Eclipse具有低批量生产、精确对准和自动晶圆处理等高级功能,是业界专业人士理想的溅射选项。