二手 RIBER 401-1000 #293600163 待售

分子束外延是制造高质量半导体材料的一种革命性方法。RIBER 401-1000是一种分子束外延设备，用于高品质薄膜的生长。可用于生产多种原子尺度厚度的复合底物。为了实现这一点，系统使用了一个涉及多个来源和一个生长室的过程。在源端，有电子束蒸发器、固体有机金属源、固体金属源和气体裂解这四个独立的源。所有源都通过强大的计算机界面进行控制，为材料控制和样品均匀性提供了一系列可能性。加热的电子束用于蒸发材料，而固体有机金属和金属源含有试剂和掺杂剂，可引入生长室，而气体裂解源适用于需要分裂的材料。生长室配备了可调节的温度、压力和流量控制，具有原位热处理选项和几个方便的特点，如快速管道加热和自动快门定位。这为材料控制和基板的高均匀性提供了一系列全面的可能性。该机组还装有一个温度控制的废气净化室，保证生长室中只存在非常低水平的杂质，从而产生高质量的材料。401-1000采用紧凑的框架和低振动结构,专为纯半导体材料和掺杂半导体材料的生长而设计,可提供各种基材,从金属到合金再到单晶基材。该机是制造先进半导体器件的绝佳选择，对器件制造过程中产生的结构、掺杂剂和缺陷密度提供了优越的控制。它的低振动平台可确保生产高质量的材料和装置，而不会产生任何变形或缺陷，而其过程中的光谱分析和检测工具则可以对生产过程进行快速表征和监测。是研究和生产应用的绝佳工具。