二手 TEL / TOKYO ELECTRON CE T2 Chamber for MU SPA #9358804 待售

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配件
製造商
TEL / TOKYO ELECTRON
模型
CE T2 Chamber for MU SPA
ID: 9358804
Process: CF, CN-CO Radical Components: MITSUBISHI Turbo molecular pump, part no: FT-10010-W211 (2) TOKYO KAGAKU Leak sensors, part no: RS2000CA VAT Valve, part no: 65046-PA52-ASK1/0010 VAT Adaptive pressure controller, part no: PM-7.
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