二手 VARIAN E1000 #158184 待售

VARIAN E1000是一种完整的离子植入和监测设备，用于在半导体器件制造过程中产生超高纯度、精确一致的掺杂谱。VARIAN E-1000系统提供了开发、选择和优化离子植入配置文件的全面灵活性,以支持当今日益复杂的制造过程。它结合了先进的波束线电源技术和强大的控制单元以及高分辨率的产品反馈。E 1000增强的波束线功率和源配置产生了具有远光束电流和粒子均匀性的高速性能。具有自动校准功能的可编程高压电源可确保卓越的过程控制和可重复性,而波束线图技术则考虑角度分布,以确保精确、可重复的波束精度。高分辨率离子束剖面图传感器能够对植入物剖面图进行精确监控,以便进行过程优化。E1000的综合控制机器提供自动化和高效的数据处理功能,允许轻松开发、设置和优化过程。利用实时控制工具，VARIAN E 1000执行光束调制、光束拱形等自适应、动态控制功能，优化光束性能。此外，E-1000的先进多路复用能力使得各种物种的同时植入具有均匀剂量和能量。VARIAN E 1000的高分辨率产品反馈确保了可靠、一致的产品质量。其高分辨率的产品反馈系统有助于识别植入物配置文件问题和其他参数。此外,VARIAN E-1000的高级流程监控软件允许操作员实时监控、诊断和排除梁流程问题,从而实现流程优化和改进正常运行时间。E 1000是为灵活、精确和可靠的离子植入而设计的。其强大的功能集、集成的控制资产和高分辨率的产品反馈相结合,为要求最苛刻的应用程序提供卓越的吞吐量、可重复性和产品质量。