二手 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 3290 #9247552 待售
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ID: 9247552
Sputtering system
With wafer heater power supply
(2) MKS 250 Controllers
Remote source meter
FLUKE 1722A Instrument controller
Wide range thin film monitor control
FLUKE 8840A Digital multimeter
Wafer loader control
Inner locking and interface chassis control
VARIAN Vacuum controller
Shutter monitor control
VARIAN 8800RS Vacuum ionization gauge
RF Matching controller
Cassette motor control
VARIAN Turbo-V-301-AG Controller
VARIAN Temperature monitor
Power cabinet
(2) AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 6286A DC Power supplies
Power: 20 V, 10 A
Deposition source control
(2) CPI CPW-12/480 Power supplies
PLASMATHERM HFS1000D RF Generator
CTI-CRYOGENICS 8200 Compressor
(2) EDWARDS OQDP40 Vacuum pumps
NESLAB System III Chiller
With THORNTON Digital control
TOSHIBA 4200FA System.
AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 3290溅射设备是一种现代化的高性能设备，设计用于各种显示器、光电等科学应用的薄膜溅射和多层堆栈沉积。HP 3290 System是一个完全自动化的多源平台,具有集成的流程控制单元,可执行高度可重复的流程。AGILENT 3290单元有四个独立的磁助溅射源、旋转、倾斜和移动溅射目标，以及一个倒计时计时器。所有的组分都可以针对不同的带状速率、不同的角度和其他参数进行调整，以优化沉积过程。KEYSIGHT 3290的多方面软件功能允许数据管理和容易的结果传输以及对流程信息的访问和密集的图书馆功能。它提供了薄膜厚度、尺寸、均匀性和其他参数以及薄膜沉积的其他重要方面的综合跟踪。HEWLETT-PACKARD 3290 Machine配备了一个针对多种材料和基材的闭环自动压力控制和分析工具，允许真正的原位过程控制。该资产采用气体溷合模型，两级燃烧室配有独立的台式仪器，保持压力和质量读数的一致性。其可配置的电源可运行到四个等离子体源,确保实现均匀和干净的沉积。3290溅射设备具有一个自成一体的自动热真空装置，其中组件可以放置在一个手套箱内，在可控大气层的情况下承受高达250°C的温度范围，样品基板可以机械固定到位。这种设置不需要昂贵的真空室和其他昂贵的组件。AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 3290提供了出色的可重复性和一致的结果,在降低成本和材料浪费的同时提高了生产效率。HP 3290因其用途广泛,是任何实验室或研究中心的理想设备,可在受控环境中快速、高质量地溅射薄膜。
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