二手 AIRCO TEMESCAL HRS 2550 #89776 待售

AIRCO TEMESCAL HRS 2550是由AIRCO/Temescal为先进的薄膜沉积应用而设计的溅射设备。它是一种高可靠性、大容量的系统，广泛用于电介质、金属和半导体在各种基板上的沉积。HRS 2550具有强大的双板溅射装置,可实现高精度和可重复的结果。该单元最多可容纳四个基板，并在每个腔室上设有可调节的快门，以提供额外的多功能性。AIRCO/Temescal AIRCO TEMESCAL HRS 2550机配备了先进的数字控制模块，可以进行精确的参数管理和高精度的材料沉积。数字控制包括多处理器工具监视器、内置语言解释器、实时时钟和集成运动控制器。这允许资产以非用户定义模式运行，并允许为各种薄膜应用选择预设参数。AIRCO/Temescal HRS 2550型号还包括先进的溅射元件，如磁驱开关和双快门机构，以确保沉积精度和准确性。磁驱开关设备可以方便、精确地选择溅射沉积速度，并可以精确、可重复的结果。双快门机构提供精确的薄膜厚度控制，并允许精确、可重复的薄膜沉积，甚至在不均匀的基板上。AIRCO/Temescal AIRCO TEMESCAL HRS 2550系统还具有内置的反应性离子蚀刻（RIE）功能,可精确蚀刻薄膜材料。RIE功能还允许复杂的多层图样,并提供高精度的薄膜抛光和钝化。总体而言，AIRCO/Temescal HRS 2550是一种高性能、大容量的溅射装置，设计用于精确、可重复的薄膜沉积。该机耐用可靠性强，具备先进的数字控制、精确的溅射元件和反应性离子蚀刻能力。因此，它是高端薄膜沉积和蚀刻应用的理想工具。