二手 AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8 #293809480 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293809480
优质的: 2011
Sputtering system
Deposition chamber: 15.6" x 14" OD, Vacuum chamber with flange
O-Ring seal
Chamber bottom: 16.5" CF With copper gasket
No substrate heater
(1) Argon Mass Flow Controller (MFC)
(5) DC guns
No RF guns
Target: 3"
RF substrate bias:100W
Chamber body:
CF Viewport with integrated shutter, 6"
Turbopump / Gate valve (8" CF)
Vacuum gauges ((2) 2.75" CF, (1) 1.33" CF)
Substrate holder flange
Vent valve
Load-lock (10" CF)
2.75" CF and 6" CF Ports
(2) Removable stainless steel chamber liners
Integrated instrument rack
Heavy duty caster
Leveling feet and powder-coated table top
Chamber light mounted table top
Hinge for chamber top
Water mainfold with flow sensor
Vacuum pumping:
700 l/s PFEIFFER wide range turbopump with controller
Cables and delayed vent valve
8.2 CFM Alcatel dry
Lobe type backing pump with integral valve
Interconnecting plumbing
(3) DC Supplies
RF Supply
Power: 600 W
Automated 4-Way DC Switch box
Cable set
Vacuum gauge:
GRANVILLE-PHILLIPS 307 Gauge controller
(3) Head outputs with Nude ion gauge, convectron gauge and Baratron gauge heads: 100 mTorr
QUARTZ Crystal thickness monitor:
Single low profile
Crystal sensor
Heat sink
Controller
Oscillator
Cable
(10) Crystals
Substrate holder:
(3) Accommodates, 3"
Continuous motorized rotation: 0 to 40 RPM, Controller
Standard transferable, aluminum, 7" OD x 0.25"
Custom transferable, aluminum, 7" OD x 0.25"
RF/DC Biasing capability
Power supply: 100 W
Gas handling:
Mass flow controlled gas line (Ar): 100 SCCM with pneumatic isolation valve filter
Pressure control / Vacuum valves:
VAT Series 64 Closed loop
Automatic pressure control
Isolation gate valve
Manual vent valve
CF Size: 8"
Load lock:
Low volume aluminium chamber
Single billet
Removable loading door
Magnetic transfer arm with custom susceptor
Full range vacuum gauge
Wide range: PFEIFFER 80 Litres p/s
Compound turbomolecular pump with delayed vent
TMP Controller
Interconnecting plumbing
(4) CFM Alcatel mechanical backing pumps
Isolation gate valve: 10" CF
Main chamber with load-lock adaptor flange
2011 vintage.
AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8是代表薄膜沉积技术显着进步的尖端溅射设备。这一通用系统的设计满足了研究和工业应用的要求，需要对薄膜沉积过程进行高精度和控制。该单位拥有一系列创新的特点和能力，使其成为从事微电子学、光学和材料科学等各个领域的研究人员和工程师的首选。ATC Orion 8的一个关键特点是其先进的磁控管溅射技术，使薄膜在基板上的沉积精确而均匀。该机器利用磁控管溅射源使气体原子电离并沉积到基板表面，从而能够创造出具有特殊厚度控制和均匀性的薄膜。这项技术确保了高沉积速率和优秀的薄膜质量,使AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8成为需要高性能薄膜的广泛应用的理想选择。ATC猎户座8最多配备了八个溅射源，为用户提供了沉积多层材料层、打造复杂薄膜结构的灵活性。该工具提供了广泛的目标材料，包括金属、合金和氧化物，允许用户根据自己的具体要求定制沉积过程。此外，该资产还具有一个旋转的基板支架，能够在大面积上沉积，并具有均匀的薄膜厚度分布。在控制和监控能力方面，AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8配备了用户友好的界面，可以方便操作和实时监控沉积过程。该模型配备了先进的工艺控制软件，使用户能够精确调整气流、功率水平、沉积时间等沉积参数，达到所需的薄膜性能。此外，设备还配备了现场诊断工具，可实时监测薄膜的生长和厚度，确保高可重复性和一致的薄膜质量。ATC Orion 8的设计考虑了可扩展性,允许用户升级系统,并增加功能和特性,以满足不断变化的研究和生产需求。该单元采用高质量的组件和材料来构建,以确保长期的可靠性和性能一致性。此外，这台机器的占地面积很小，适合空间有限的实验室环境。总体而言,AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8溅射工具是最先进的薄膜沉积应用解决方桉,需要高精度、灵活性和可靠性。凭借先进的磁控管溅射技术、多个溅射源以及用户友好的界面,ATC Orion 8为研究人员和工程师提供了一个探索新型薄膜材料和结构的强大工具。无论是在学术界还是工业界，AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8对于那些寻求提升薄膜沉积能力的人来说都是值得信赖的选择。
还没有评论